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中瑞祥勻膠機旋涂儀旋轉涂膜機操作說明書

旋涂儀有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

　　旋涂儀的操作說明：

　　1.開機前準備

　　(1) 用丙酮與無塵紙清理之前光阻圖布的殘余物.

　　(2) a. 選擇適合尺寸大小的吸盤(1/2",1",2",3",4",5",6",7",8").

　　b. 將吸盤裝上(將吸盤缺口處對準軸心之插梢位置).

　　c. 將樣品放在吸盤上(啟動前請確定樣品放在吸盤正中央的位置).  ※ 不可放入破片只能放4吋晶圓,以防光阻倒流入真空吸槽.

　　2.開機&設定

　　(1) a. 將"POWER"開關打開.

　　b. 將"CONTROL"按鈕壓下(若沒有壓下則機臺將無法操作).

　　(2) 設定涂布的時間及轉速 :   Step I Timer I : 2~18 Sec Speed I : 500~2500R.P.M.  Step II Timer II : 3~60 Sec Speed II : 1000~8000R.P.M.

　　(3) 打開真空幫浦開關,并將"VACUUM"按鈕壓下此時開始抽真空吸附樣品. 啟動"START"前,請確認涂布的時間及轉速是否已設定完成.

　　(4) 將光阻劑滴在樣品中心的位置.并將上蓋蓋上,防止意外發生.

　　(5) 壓下"START"按鈕,此時機臺開始依步驟(4)的設定條件依Step I,Step II 的 順序開始涂布樣品.

　　(6) 待時間完畢后,機臺隨即停止運轉,完成涂布的動作.

　　3.關機

　　(1) 將"VACUUM"關閉,并將真空幫浦關閉,取下完成樣品.

　　(2) 將"CONTROL"按鈕及"POWER"開關關閉.  PS. 此機臺有預留廢液回收口,可將多余廢液排出.

　　(3) 用丙酮清理圖布后的光阻痕跡.